韦后与武三思日夜诋毁张柬之等五人，还危言耸听地说他们“恃功专权，将不利于社稷”。武三思还为中宗出主意说：封敬晖等五人为王，给以尊宠的称号，罢免他们的政事，外不失为尊宠功臣，内则夺取了他们的大权，是两全其美之策。中宗采纳了他的奸计，于神龙元年（705年）五月颁下诏令，封侍中敬晖为平阳王，桓彦范为扶阳王，中书令张柬之为汉阳王，袁恕己为南阳王，特进、同中书门下三品崔玄暐为博陵王，皆罢知政事，赐给金帛鞍马，只令每期望日参加朝见。从此，武三思“令百官复修则天之政，不附武氏者斥之，为五王所逐者复之，大权尽归三思矣”。武三思倒行逆施，欲使历史再倒退到武则天末年。
武三思为了进一步控制朝臣，对一些不屈服自己的骨鲠大臣，采用了又拉又打软硬兼施的手段。
魏元忠素以耿介忠直闻名，过去颇受武则天所器重，这时他任中书令，是满朝文武所推重的宰相，即使武三思也怕他三分。这年十一月，武则天于上阳宫晏驾，在中宗守丧期间，魏元忠摄冢宰。武三思则假称太后遗诏，好言安慰魏元忠，并赐实封100户。魏元忠手捧制书，感激涕零。武三思企图用小恩小惠以收买这位以耿直著称的宰臣，使其以后不再论奏武氏之事。
素以谔谔之言闻名的宋璟，早已蜚声于则天朝。中宗嘉奖他的刚正，由吏部侍郎擢为黄门侍郎。武三思屡次请托，均遭其拒绝。宋璟还明言警告武三思说：“今复子明辟，王宜以侯就第，安得尚干朝政，独不见（吕）产、（吕）禄事乎？”后来韦月将告发武三思淫乱宫掖，中宗又羞又恼，十分狼狈。武三思也恨之入骨，命马上处以极刑。宋璟以为不加追查即处斩，不合法令，始终不奉行中宗的诏令。武三思嫉恨宋璟，遂将他贬为检校贝州刺史。
在武三思排除异己、结党营私的时候，发生了王同皎欲谋刺他的事件。王同皎曾参与了五王政变，因功授任右千牛将军，封琅邪郡公。后又尚安定公主，拜驸马都尉，迁任光禄卿。神龙二年（706年）三月，他以武三思“专权任势，谋为逆乱”，遂暗中召集壮士，预定在武则天安葬之日，灵驾移动之时，劫持武三思而杀之。不料同谋人冉祖雍泄了密，武三思马上使人告发“同皎潜谋杀三思，将拥兵诣阏，废黜皇后”。中宗也不察闻，遂将王同皎斩于都亭驿前，籍没其家。同谋人也被诛杀。
政敌被处死了，狡黠的武三思还不肯就此歇手，他又借题发挥，大做文章。这时张柬之等五王虽已被贬到地方，怕他们东山再起，还是寝食不安，于是又唆使其亲信郑愔诬告张柬之等五人与王同皎通谋，中宗分别将他们贬为崖州，泷州、新州、窦州、白州司马。
张柬之等五人被贬为偏远的州司马后，武三思还怕死灰复燃，又使用卑劣的手法，暗中使人书写韦后的淫秽行为，并张贴于洛阳天津桥，请求废黜皇后。中宗得知，受如此奇耻大辱，不禁大怒，立命御史大夫李承嘉追究此事。李承嘉诬告是张柬之等人干的，并添油加醋地说：他们“虽云废后，实谋大逆，请族诛之”。武三思又使儿媳安乐公主在宫内活动，使郑愔在外廷相呼应，最后终于将张柬之、敬晖等五人都处以极刑。
就这样，韦武集团渐渐地控制了朝政大权。
韦武集团虽然控制了朝政，但他们的最终目标是夺取皇帝宝座。这样。中宗自然成了韦武集团的众矢之的，其帝位也就岌岌可危了。皇太子是传统的皇位继承人，太子李重俊也必然成为他们的眼中钉。
在韦武集团谋夺皇位的过程中，安乐公主是一个很活跃的人物。安乐公主是韦后所生儿女中最小的一个，是中宗皇帝被废为庐陵王、迁往房州的途中生下的。当她降生时，正值四月，气候温暖，中宗随即脱下衣服把她包起来，故名叫裹儿。安乐公主长得娇美俊俏，又能说会道，成为父母爱如心肝的娇女。长大后，下嫁于武三思的儿子武崇训，在勾通公公与母后的联系中起了媒介作用，也成为韦武集团中的一个重要人物。
安乐公主深受父皇与母后的宠爱，因而骄横不法，卖官鬻爵，也无人敢于过问。更为荒唐的是她自作制敕，作成后又把敕文遮掩起来，即要父皇署名。中宗笑着答应了她的请求，最终也不看文本。至于制敕究竟是什么内容，连中宗本人也不得而知。
中宗的纵容更助长了安乐公主的骄恣，使她更加为所欲为。史称：“中宗韦后爱宠日深，恣其所欲，奏请无不允许，恃宠纵横，权倾天下，自王侯宰相已下，除拜多出其门。”安乐公主的欲壑像个无底洞，是永远也填不满的。她的权势已如此之大，尚不满足，还幻想有朝一日能像太子那样，登上皇帝宝座。神龙二年（706年）十二月，她向中宗提出了要做皇太女的请求。宰相魏元忠认为，皇太女会危及太子地位，皇太子是国家储君，今又无罪，岂能动摇？不可再立皇太女。安乐公主知道后十分不满，破口大骂道：“元忠，山东木强田舍汉，岂足与论国家权宜盛事、仪注好恶！阿武子尚自为天子，况儿是公主，做皇太女，有何不可！”阿武子系宫中对武则天的称呼。在她看来，皇后尚能做天子，皇帝女儿又有何不可呢？
韦后一心要效颦于武则天，武三思对皇位也垂涎三尺，安乐公主也是梦寐以求地要做皇太女，于是皇太子李重俊与韦武集团的矛盾逐渐表面化了。史书记载说：
皇后以太子重俊非其所生，恶之；特进德静王武三思尤忌太子。上官婕妤以三思故，每下制敕，推尊武氏。安乐公主与驸马左卫将军武崇训常凌侮太子，或呼为奴。崇训又教公主言于上，请废太子，立己为皇太女。太子积不能平。
李重俊是中宗第三子，后宫人所生。曾封为卫王，任右卫大将军、遥领扬州大都督。神龙二年（706年）七月，被立为皇太子。他虽然生得聪明果敢，但缺乏贤师良傅的辅佐，太子宾客杨璬、武崇训素无学术，只知道以狗马蹴鞠相戏嬉。因此，太子少法度，并非是一个很理想的皇位继承人。
太子李重俊对韦武集团的篡权活动不胜愤慨，他不能忍受安乐公主的凌辱，更不甘心坐失皇位继承人的身份，他决定先发制人。景龙元年（707年）七月，太子率左羽林大将军李多祚，右羽林将军李思冲、李承况、独孤袆之、沙吒忠义等，矫诏调动羽林兵及千骑300余人，首先包围了武三思的住宅，杀死了武三思及其子武崇训，又杀死其党羽十几人。然后又令左金吾大将军成王李千里分兵守卫宫城诸门，自己率兵直奔肃章门，斩关而入，敲着内宫门要父皇交出韦皇后、上官昭容及安乐公主。中宗与皇后、上官昭容、安乐公主急忙登上玄武门楼以避兵锋，并马上命右羽林大将军刘景仁率飞骑百余人在楼下守卫，宰相杨再思等人也率2000多人守卫在太极殿前。后由于千骑兵反戈，李多祚被杀。太子见难以取胜，遂率部分侍从逃到户县的树林里，被侍从杀死。成王李千里攻太极宫右延明门，欲杀宗楚客、纪处讷等人，没有攻克，反被乱军所杀。
这次兵变就这样失败了。
据史书记载，宰相魏元忠支持太子兵变，但态度不太坚定。魏元忠嫉恨武三思专权用事，及太子李重俊将要起兵时，他暗中参与了谋划。在太子率兵奔肃章门的途中，遇到了魏元忠的儿子魏昇，时任太仆少卿。随即加入了兵变的行列。到了玄武门楼下，由于李多祚等犹豫不战，“元忠又持两端，由是不克”。结果魏昇被乱兵所杀，后来魏元忠也由此被贬而死。
有迹象表明，相王李旦、太平公主也参与了太子兵变。相王、太平公主曾参与了五王政变，在恢复李唐皇统的过程中起过重要作用。他俩对韦后及武三思的专权也极为不满，太子发动了针对韦武集团的兵变，他俩也是支持的。右台大夫苏珦审理这一兵变案时，有人就供认相王参与了此事，苏珦为相王辩护，竭力保全他，但安乐公主与宗楚客得知此事，如获至宝，多次要挟中宗，治罪相王，还指使侍御史冉祖雍上疏，说相王、太平公主二人“与重俊通谋”，请收留狱中审查。中宗命吏部侍郎兼御史中丞萧至忠审理此事，萧至忠恳切地劝解中宗说：“陛下富有四海，不能容一弟一妹，而使罗织害之乎！相王昔为皇嗣，固请于则天，以天下让陛下，累日不食，此海内所知。奈何以祖雍一言而疑之！”在大臣们的掩护下，相王与太平公主才算相安无事。
太子李重俊因政变失败而死，为韦后篡夺皇位清除了一大障碍，给安乐公主谋做皇太女也带来了新的希望，因此韦后与安乐公主加快了篡权的步伐。
景龙二年（708年）二月，韦后声称衣箱裙子上飘起了五色云气，久而方散。其党羽中书令韦巨源立即随声附和，扬言是非常佳瑞，请中宗诏告天下。又令画工绘其形状，宣示百官，并特为此事而大赦天下。
接着，其党羽又利用中宗好符瑞及当时人们迷信谶语的心理制造舆论。右骁卫将军、知太史事迦叶志忠上表说：过去高祖未受命时，天下人歌唱《桃李子》曲；太宗未受命时，天下又歌唱《秦王破阵乐》，天后未受命时，天下又歌唱《武媚娘》曲，顺天皇后（韦后）未受命时，天下人又歌唱《桑条韦也》，《女时韦也》，这都是受命之符。“伏惟皇后降帝女之精，合为国母，主蚕桑以安天下，后妃之德，于斯为盛。”他还把当时的民谣加以穿凿附会，把《桑条韦》说成是韦后当国母的符命，主持桑蚕之事是天意，为韦后的篡权活动而大造舆论。醉翁之意不在酒。昏庸的中宗对迦叶志忠的别有用心毫无警觉，反乐得心花怒放。
韦武集团的党羽更加活跃起来。在迦叶志忠上进《桑条歌》12篇后，太常少卿郑愔又加以引申，编成舞咏，大肆传播。宗楚客又劝补阙赵延禧上表陈述符命，把《桑条》解释为“十八代之符”，并请求颁示天下，编于史册。中宗又十分高兴，给以重赏。
韦武集团阴谋篡权已是司马昭之心路人皆知了。景龙四年（710年）四月，定州人郎岌上奏，说：“韦后、宗楚客将为逆乱。”韦后要挟中宗，把他活活打死。五月，许州司兵参军燕钦融又上奏说：“皇后淫乱，干预国政，宗族强盛；安乐公主、武延秀、宗楚客图危社稷。”中宗召来燕钦融当面诘问，他顿首陈词，侃侃而谈，毫无惧色。中宗似有所悟，默然不语。而宗楚客却矫称制令，不由分说，命武士当着中宗的面把燕钦融摔倒碰于殿庭石柱上，折断了颈椎，当即死于非命。宗楚客看了，高兴地拍手叫好。中宗见宗楚客如此肆无忌惮，目无君主，虽不追究此事，心中很是怏怏不乐，这使得韦后及其党羽忧惧不安。
六月二日，韦后、安乐公主与经常出入宫掖的散骑常侍马秦客、光禄少卿杨均密谋，在糕饼中掺进了剧毒，中宗食后，药性发作，很快死于神龙殿。韦后先是严密封锁中宗身死的消息，自己总揽朝政。
第二天，韦后把诸宰相召入禁中，谋划自安之策。为了预防不测，她调来了5万府兵，镇守京师，分别由韦氏宗族子侄与驸马都尉韦捷、韦灌，卫尉卿韦培、左千牛中郎将韦绮、长安令韦播、郎将高嵩等统率，严密控制着左右屯营、左右羽林军及飞骑、万骑；又令中书舍人韦元率兵在长安城中左、右六街分道巡守，加强警备。
在皇宫里，太平公主与上官昭容合谋草拟遗诏，立中宗最小的皇子温王重茂为皇太子，韦后知政事，相王李旦参谋政事。相王辅政是韦武集团的最大心病，宰臣宗楚客认为“相王辅政，于理非通”，以“叔嫂不通问”、听朝礼仪不便为由，率诸宰相上表，请皇后临朝称制，罢免了相王的政事，改任太子太师。
在这一切安排就绪后，才将梓宫迁至御太极殿，召集百官隆重发丧，韦皇后临朝摄政。
过了几天，年仅16岁的温王重茂即皇帝位，是为少帝。尊韦皇后为皇太后。
韦武集团的宫廷政变似乎进行得很顺利，韦皇后已临朝摄政，但他们所追求的目标还没有实现。于是宗楚客与太常卿武延秀、司农卿赵履温、国子祭酒叶静能及韦氏宗族的人共同劝韦皇后遵照武则天故事。宗楚客还秘密上书，假称图谶，宣称韦氏宜革唐命，还欲谋害少帝。又与韦温、安乐公主合谋，除掉相王与太平公主。
正当韦武集团在一片紧锣密鼓声中加紧策划，匆匆做最后准备的时候，不料临淄王李隆基成功地发动了一场宫廷政变，打破了韦武集团的黄粱美梦，姚崇也迎来了返朝辅政的机会。