绥远地区相当于今天内蒙古自治区的中西部，从今天的行政区划来看，包括乌兰察布盟、伊克昭盟、巴彦淖尔盟、包头市、呼和浩特市。清代，这一地区分属乌兰察布盟、伊克昭盟（属内札萨克旗）、归化城土默特旗以及察哈尔右翼诸旗（属总管旗）。
清代，归绥道隶属于山西。清初，清廷实行封禁政策，严禁内地汉人到口外移垦，到了后来，迫于内地的人口压力与灾荒的不断发生，禁令渐弛，内地贫民不断涌入河套地区。这种移民现象给人口流入地带来了一系列社会问题，为了解决这些问题，加强统治，清廷陆续增设了相关的管理机构。例如，雍正十二年（1735），清廷在萨拉齐置协理笔贴式，乾隆四年（1739）置协理通判，并在归化城东北筑绥远城，设绥远城厅，为绥远将军驻所，绥远也因此得名。乾隆六年（1741），隶于山西归绥道。清中叶以后，口内农民赴后套者越来越多，光绪八年（1882），山西巡抚张之洞奏请，在大同府之丰镇、朔平府之宁远设立丰宁押荒局，使来垦者必向官家交纳押荒银后，始能按照所发之押荒条垦地。光绪十年，清政府将丰镇、宁远两厅升为直隶厅，隶属归绥道。同时，将萨拉齐同知改为抚民同知，将清水河、和林格尔、托克托三理事厅改为抚民理事通判，均隶属归绥道。光绪二十九年（1903）增设五原厅。
“中华民国”成立后，北洋军阀政府对地方的官制和行政区划作了改革。清代归绥道所辖萨拉齐、五原厅仍归山西省管辖。改归绥道为观察使，将厅改为县。1912年4月，“中华民国”政府沿袭清制，设绥远将军，节制绥远地区的十二抚民厅、乌兰察布盟六旗、伊克昭盟七旗及归化城土默特旗。十二抚民厅的行政仍由山西省归绥道行使。同年5月，归绥道改为归绥观察使，十二抚民厅改为县。1913年，裁归化城副都统及观察使，“以绥远城将军为行政长官，与山西省分县而治”，设置绥远特别区，以归绥道12县及乌昭2盟划入，归绥远都统统辖，设置军政、民政两厅分理军政、民政事务。1914年，民国政府成立绥远特别行政区，改绥远城将军为绥远都统，将萨拉齐、五原县隶绥远道。“并增设道尹以任民政，增设土默特旗总管以辑蒙众。”同年，察哈尔特别行政区建立，中央政府将原属于察哈尔的丰镇、兴和、凉城、陶林四县划入察哈尔特别行政区。1925年设临河设治局。1926年8月，阎锡山占据绥远以后，实行所谓“晋绥一家”政策，阎锡山的势力由山西扩充至绥远。
国民党政府为削夺蒙古盟旗自主自治的权利，完全无视蒙古人民的切身利益和民族要求，1928年9月17日，国民党政府发表《改热河等区为行省通电》，宣布“热河、察哈尔、绥远、青海、西康均为改省”。绥远改省后，辖今内蒙古自治区乌兰察布盟、伊克昭盟、巴彦淖尔盟东部及呼和浩特市、包头市等地，徐永昌为第一任省主席。通过改省设县，国民党政府将蒙古盟旗置于省县当局的控制之下。至此，“内蒙古之名词实已不当存在”，蒙古各盟旗的法律地位变得模糊不清。
1929年，绥远省面积为30.4万平方公里，人口为212.4万。1946年统计面积约34.7万平方公里，人口约208万，辖2市，20县，省会设在归绥县。1949年新中国成立后，绥远省面积有所缩减，1950年5月统计为22万平方公里。综合起来看，民国时期绥远地区的行政区划变动是比较大的。到1929年绥远省政府成立前后，绥远特别行政区共有16个县、2个设治局。1954年3月6日绥远省、内蒙古自治区正式合并，撤销绥远省建制和绥远省人民政府。原绥远省辖区统一由内蒙古自治区人民政府领导。