防治工业生产过程排放的有毒有害气体引起的大气污染，需要做到以下几点：
（1）应尽量减少污染源。新建项目应尽可能采用有利于环保的工艺和设备，对已建项目中的污染源进行技术革新和技术改造，加装回收处理设备，从而将污染物质遏制在萌芽之中。
环境保护部门通过审查企业的环境影响评价书和验收企业的“三同时”工作，对此进行监督和管理，对验收不合格的企业可以责令企业停止生产或使用并可处以罚款。对危害比较严重，群众反映强烈的污染源，环境保护部门可以责令限期整顿、迁移或强行予以拆除等。
（2）对排出的污染物进行净化处理。如含有硫化物的气体应配备脱硫装置，有粉尘的必须采取除尘装置，有可燃性气体的应架设燃烧塔或其他设施使其能够充分燃烧等，尽可能减少污染气体的排出量。
（3）实行排污许可制度。经上述处理后仍须排污的，应取得环境保护部门的同意，发放排污许可证，同时对排污企业征收排污费，作为改造污染设备、减少大气污染的专项资金。
（4）制定大气污染物总量标准和排放标准。对超过标准排放的企业加收超标准排污费并视情节给予行政处罚如警告、罚款等；给其他单位和个人造成经济损失，应承担经济赔偿责任；触犯刑罚的还要依法承担刑事责任。